無(wú)塵車(chē)間也叫潔凈廠(chǎng)房、潔凈室(Clean Room）、無(wú)塵室，是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。

潔凈廠(chǎng)房建筑方式可分為土建結構和裝配式兩種，其中普遍采用裝配式。在硬環(huán)境方面下足功夫 ，服務(wù)于多家世界500強企業(yè)，蝕刻產(chǎn)品品質(zhì)只有在無(wú)塵車(chē)間建立后，制程上才可以管控。在后期工序生產(chǎn)時(shí)如：腐蝕藥水調配，蝕刻加工的時(shí)間，才可以達到完美。裝配式潔凈廠(chǎng)房系統主要由初，中，高三級空氣過(guò)濾的空調送風(fēng)回風(fēng)和 排風(fēng)系統；動(dòng)力及照明系統；工作環(huán)境參數的監測報警消防和通訊系統；人流和物流系統；工藝管路系統；維護結構及靜電地面處理等各方面所要求的實(shí)施內容組成，形成空調凈化系統工程所包含的整個(gè)設備和器材的配套和建筑安裝內容

無(wú)塵操作間

　潔凈室內，在動(dòng)態(tài)情況下，細菌及塵埃的最大發(fā)生源是操作者，當操作者進(jìn)入潔凈室之前，必須用潔凈空氣吹淋其衣服表面附著(zhù)的塵埃顆粒，并起到氣閘的作用。

風(fēng)淋室

　　傳遞窗主要適用于潔凈區與非潔凈區之間，或潔凈室與潔凈室之間的小貨物傳遞，可有效的減少潔凈室門(mén)的開(kāi)啟次數，把潔凈區的污染減少的最低程度。根據使用要求，傳遞窗箱體表面可噴塑，內膽可用不銹鋼，外表美觀(guān)。傳遞窗的兩扇門(mén)采用電控連鎖或機械連鎖裝置，可有效的防止低潔凈等級區內的灰塵帶入高潔凈區內，是凈化車(chē)間必備佳品。

傳送窗

　　玻璃幕墻主要適用于隔離潔凈區與非潔凈區或生產(chǎn)區與非生產(chǎn)區部分，為管理人員或參觀(guān)人員提供方便。

玻璃幕墻

金屬蝕刻加工工藝要求的空氣潔凈度等級標準及規范,潔凈度越高，對蝕刻加工的后工序越有利。卓力達目前無(wú)塵車(chē)間達到萬(wàn)級

空氣潔凈度等級標準及規范

經(jīng)濟和科技發(fā)達的國家和地區都有自己的空氣潔凈標準和規范標準，都規定了有關(guān)的潔凈度等級，例如美國、日本、西歐、北歐、俄羅斯等。我國于1984年頒布《潔凈廠(chǎng)房設計規范》（GBJ73-84），1996年該規范進(jìn)行了較大的修改，1990年頒布《潔凈室施工及驗收規范》（JGJ71-90）以指導施工和驗收的重要文件。目前，該規范在重新修訂中。

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